微电子集成电路超纯水设备

项目设计说明

• 本工程水处理系统是由预处理(多介质过滤+超滤装置)系统、反渗透系统、EDI电除盐系统为核心工艺。
• 超滤系统、反渗透系统的低压管路部分到EDI装置进水均采用UPVC管路，反渗透高压管路则采用承压好的不锈钢管。在EDI出水至抛光混床前采用Clean-PVC材质，抛光混床后至回流管道采用PVDF材质。。
• 预处理系统、反渗透系统和EDI系统，选用SS304材质的水泵。
• 工艺流程：

• 

设备详细介绍

预处理系统

原水箱、原水泵、杀菌剂、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂系统

稳定运行降低工程投资

原水箱

杀菌剂

原水泵

石英砂过滤器

活性炭过滤器

换热器

阻垢剂系统

双级反渗透系统

保安过滤器、RO高压泵、反渗透系统

• 

  保安过滤器

• 

  RO高压泵

• 

  反渗透系统

EDI系统

EDI的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ . CM提高到5～16MΩ . CM。

抛光混床

无化学析出的核子级树脂，去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质,使水质达到18MΩ . CM以上。

终端超滤

有效地去除水中的微粒、胶体、细菌、热源和有机物力。是整套系统最后的防火墙，确保产出的高纯水不受二次污染。

氮封水箱

防止CO2等其它物质溶入水中影响水质，保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降。

设计优势

• 

  设备连续运行、保障产水稳定

• 

  系统无酸碱处理，节能环保

• 

  设备欠压或超压时，可及时报警停机

• 

  自动化程度高，减少人力投入

• 

  设备集成度高，便于运输与安装

• 

  人性化设计，操作、检修耗材更换更方便

• 

  选材优质，使用寿命有保障

• 

  对出厂设备进行压力试验，保证设备优良完整性

• 

  电控系统出厂检验，保证其运行完好

• 

  设备资料永久存档

• 

  应急维修服务安排

• 

  100余人售后技术

• 

  3小时内赶往现场

• 

  1小时给予技术解答