硅晶圆材料超纯水设备

项目设计说明

• 纯水系统主要包括预处理系统、RO系统、EDI系统、抛光处理系统以及远程控制系统、监控系统、水量计量系统和其他辅助系统。
• 采用中央监控系统控制纯水系统的运行操作，控制模式采用PLC+上位机，采用CPU和服务器无缝冗余。
• 不使用国家明令禁止的产品；对化学品的使用应有泄露应急措施。
• 各级设备应具有余量、备用。
• 系统自动运行，同时也可以切换为手动。采用节约用能设计。
• 超纯水泵、EDI增压泵、RO高压泵、UF反洗泵、RO供给水泵采用变频器控制。
• 原水直接来源于业主自行建设的水箱，不再单独建设原水箱。
• 工艺流程：

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设备详细介绍

Ultrapure water

预处理系统

作为反渗透的前处理，主要目的是去除原水中的悬浮物、胶体、色度、浊度、有机物、硬度等妨碍后续反渗透运行的杂质。

Ultrapure water

反渗透系统

反渗透系统承担了主要的脱盐任务。有效地判断和确定系统的运行情况。

Ultrapure water

精处理系统

精处理系统主要功能是为了进一步除盐和去除水中的残余的TOC、溶解氧等。

设计优势

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  ●降低能耗，减少化学药品的使用量，综合成本低

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  ●各自动运行程序的工艺参数、控制参数可在线设定

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  ●自动报警系统可分析各类故障并发出警报，显示故障点和故障状态

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  ●整体设备运行稳定、自动化程度高、无需人工操作

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  应急维修服务安排

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  100余人售后技术

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  3小时内赶往现场

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  1小时给予技术解答