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硅片、电池行业超纯水设备

硅片、电池行业超纯水设备

进水水质:市政自来水/地下水

产水水质:国标/美标电子级超纯水

所需电源:稳定电源380V 50HZ

占地面积:根据产水量设计

公共条件:

  • 进水管道清洁无污染
  • 进水压力0.3-0.4MPA
  • 持续稳定电源AC380V/AC220V
  • 地面设置排水设施
  • 设备间温度需10℃-30℃

产品咨询

项目设计说明

设备详细介绍

预处理系统

原水箱原水箱

原水泵原水泵

降低工程投资稳定运行

石英砂过滤器石英砂过滤器

活性炭过滤器活性炭过滤器

阻垢剂系统阻垢剂系统

原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂系统

反渗透除盐系统

保安过滤器保安过滤器

RO高压泵R
O高压泵

反渗透系统反渗透系统

保安过滤器、RO高压泵、反渗透

EDI系统

EDI的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程,将水的电阻率从0.05~1.0MΩ.cm提高到5~16MΩ.cm。

抛光混床

抛光混床是超纯水在接触到半导体芯片前的最后一道化学精制的处理程序,选用品质好的核子级树脂,绝不能释出任何物质,进而污染到不能间断的 超纯水供水系统。

脱气系统

是控制液体脱气、供气的中空纤维膜组件。具有致密表皮层的中空纤维不透过液体,只透过气体,适合用于液体的脱气、供气。

TOC系统

185nm UV-TOC单波长紫外技术,通过高剂量185nm UV-TOC紫外光催化,在水中产生。OH羟基自由基,对水中有机物进行氧化降解,达到降低水中TOC的含量。

设计优势