超纯水水质指标-电子行业用超纯水设备|半导体行业用超纯水设备|TFT显示材料行业超纯水设备|电子级酸超纯水设备

中国标准（国标：GB/T 11446.1-2013）

项目		技术指标
项目		EW-I	EW-Ⅱ	EW-Ⅲ	EW-Ⅳ
电阻率(25℃)/MΩ﹒CM		≥18（5%时间不低于17）	≥15（5%时间不低于13）	≥12.0	≥0.5
全硅/(µg/L)		≤2	≤10	≤50	≤1000
微粒数/（个/L）	0.05μm~0.1μm	500	-	-	-
	0.1μm~0.2μm	300	-	-	-
	0.2μm~0.3μm	50	-	-	-
	0.3μm~0.5μm	20	-	-	-
	≥0.5μm	4	-	-	-
细菌个数/（个/mL）		≤0.01	≤0.1	≤10	≤100
铜/(µg/L)		≤0.2	≤1	≤2	≤500
锌/(µg/L)		≤0.2	≤1	≤5	≤500
镍/(µg/L)		≤0.1	≤1	≤2	≤500
钠/(µg/L)		≤0.5	≤2	≤5	≤1000
钾/(µg/L)		≤0.5	≤2	≤5	≤500
铁/(µg/L)		≤0.1	-	-	-
铅/(µg/L)		≤0.1	-	-	-
氟/(µg/L)		≤1	-	-	-
氯/(µg/L)		≤1	≤1	≤10	≤1000
亚硝酸根/(µg/L)		≤l	-	-	-
溴/(µg/L)		≤1	-	-	-
硝酸根/(µg/L)		≤1	≤1	≤5	≤500
磷酸根/(µg/L)		≤1	≤1	≤5	≤500
硫酸根/(µg/L)		≤1	≤1	≤5	≤500
总有机碳/(µg/L)		≤20	≤100	≤200	≤1000

美国标准（美标：D5127-13）

TABLE 1 Water Requirements for the Electronics and Semiconductor Industries 表1 电子和半导体行业用水要求
Parameter参数	Type E-1	Type E-1.1	Type E-1.2	Type E-1.3	Type E-2	Type E-3	Type E-4
Linewidth (microns)线宽（μm）	1.0–0.5	0.35–0.25	0.18–0.09	0.065–0.032	5.0–1.0	>5.0	-
Resistivity, 25°C (On-line)	18.1	18.2	18.2	18.2	16.5	12	0.5
TOC (μg/L) (on-line for <10 ppb)	5	2	1	1	50	300	1000
On-line dissolved oxygen (μg/L)	25	10	3	10	-	-	-
On-Line Residue after evaporation (μg/L)	1	0.5	0.1		-	-	-
On-line particles/L (micron range微米范围)
>0.05 μm				500
0.05–0.1		1000	200	N/A	-	-	-
0.1–0.2	1000	350	<100	N/A	-	-	-
0.2–0.5	500	<100	<10	N/A	-	-	-
0.5-1.0	200	<50	<5	N/A	-	-	-
1.0	<100	<20	<1	N/A	-	-	-
SEM particles/L (micron range)
0.1–0.2	1000	700	<250	N/A	-	-	-
0.2–0.5	500	400	<100	N/A	3000	-	-
0.5–1	100	50	<30	N/A	-	10000	-
10	<50	<30	<10	N/A	-	-	100000
Bacteria in CFU/Volume 细菌
100mL Sample	5	3	1	N/A	10	50	100
1L Sample			10	1
10L Sample				1
Silica – total (μg/L)（总硅）	5	3	1	0.5	10	50	1000
Silica – dissolved (μg/L) （溶硅）	3	1	0.5	0.5	-	-	-
Anions and Ammonium by IC (μg/L)
Ammonium铵	0.1	0.1	0.05	0.05	-	-	-
Bromide溴	0.1	0.05	0.02	0.05	-	-	-
Chloride氯	0.1	0.05	0.02	0.05	1	10	1000
Fluoride氟	0.1	0.05	0.03	0.05	-	-	-
Nitrate硝酸根	0.1	0.05	0.02	0.05	1	5	500
Nitrite亚硝酸盐	0.1	0.05	0.02	0.05	-	-	-
Phosphate磷酸	0.1	0.05	0.02	0.05	1	5	500
Sulphate（硫酸盐）	0.1	0.05	0.02	0.05	1	5	500
Metals by ICP/MS (μg/L)
Aluminum铝	0.05	0.02	0.005	0.001	-	-	-
Antimony锑				0.001
Arsenic砷				0.001
Barium钡	0.05	0.02	0.001	0.001	-	-	-
Boron硼	0.3	0.1	0.05	0.05	-	-	-
Cadmium镉				0.01
Calcium钙	0.05	0.02	0.002	0.001	-	-	-
Chromium铬	0.05	0.02	0.002	0.001	-	-	-
Copper铜	0.05	0.02	0.002	0.001	1	2	500
Iron铁	0.05	0.02	0.002	0.001	-	-	-
Lead铅	0.05	0.02	0.005	0.001	-	-	-
Lithium锂	0.05	0.02	0.003	0.001	-	-	-
Magnesium镁	0.05	0.02	0.002	0.001	-	-	-
Manganese锰	0.05	0.02	0.002	0.01	-	-	-
Nickel镍	0.05	0.02	0.002	0.001	1	2	500
Potassium钾	0.05	0.02	0.005	0.001	2	5	500
Sodium钠	0.05	0.02	0.005	0.001	1	5	1000
Strontium锶	0.05	0.02	0.001		-	-	-
Tin锡				0.01
Titanium钛				0.01
Vanadium钒				0.01
Zinc锌	0.05	0.02	0.002	0.001	1	5	500
Temperature Stability (K)温度稳定性				±1
Temperature Gradient (K/10 min)温度梯度				<0.1
Dissolved Nitrogen On-line (mg/L)溶解氮在线				8-18
Dissolved Nitrogen Stability (mg/L)溶解氮稳定				±2