芯片超纯水设备水质污染识别要点

　　芯片超纯水对水质要求极高，判断其是否污染需从感官、设备反馈、专业监测多维度排查。感官层面虽超纯水无色无味，但可观察产水是否出现微浊、附着容器壁的挂膜现象，或用洁净烧杯盛水静置后，查看底部是否有微量沉淀，这些细微变化可能是离子、微粒超标信号。

　　设备运行异常是重要警示，若EDI膜堆电流波动、反渗透膜产水通量骤降，或抛光树脂短时间内颜色变深、出现抱团，可能是有机物、重金属污染导致。同时，若超纯水输送管路出现局部腐蚀、接口渗漏，也需警惕水质已受污染。

　　专业监测是确诊关键，利用在线电阻率仪监测水质纯度，若数值异常升高需进一步检测。通过专用检测试剂或仪器筛查总有机碳、金属离子等指标，必要时送第三方机构精准分析污染成分。定期结合设备状态与专业检测，能及时发现芯片超纯水设备水质污染问题，避免影响芯片生产质量。