半导体行业超纯水设备

项目设计说明

• 半导体行业超纯水设备平面布置合理高效。
• 纯水供回水管路上设置电导率及流量计，供回水管路上的流量计需能显示累计流量和瞬时流量。
• 纯水系统需满足24小时连续生产要求。
• 设备布置考虑设备搬运维修通道。
• 工艺流程：

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设备详细介绍

预处理系统

原水增压泵出口至锰砂罐进水管路采用铸铁管路并做防腐防锈处理，其他管路使用UPVC材质。

• 01

  原水箱

• 02

  增压泵

• 03

  锰砂过滤器

• 04

  叠片式过滤器(盘滤)

• 05

  板式换热器

超滤系统

据原水水质、回收率及产水量等因素确定膜组件的组合方式。

软化系统

软化器采用自动阀进行控制，同时也可根据需要切换到手动。

反渗透装置

反渗透装置压力容器的数量、排列方式及运行压力由供方根据根据实际原水水质报告计算确定。

EDI系统

EDI装置的设置为两个系列，每列都能单独运行，也可同时运行。

终端供水系统

终端供水泵能够实现不降压设备切换，可选择恒压、恒流控制方式。

设计优势

• 稳定可靠

  设备运行安全可靠，并实现系统设备的远程监控

• 保障品质

  产品水管上设防爆膜，能自然爆破泄压，以保护膜元件

• 联锁保护

  设备配有声光报警，运行出现异常时，系统可进联锁保护

• 控制系统

  集中监控方式能与工艺系统网络通讯，实现全自动运行

• 设备切换

  终端供水泵能够实现不降压设备切换

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  应急维修服务安排

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  100余人售后技术

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  3小时内赶往现场

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  1小时给予技术解答