EDI超纯水设备采用了“双级反渗透系统+EDI模块”的处理工艺，出水电阻率可达16 MΩ*cm(25℃)。...

由于玻璃基板表面可能存在各种微粒、有机物、无机物等杂质，因此需要使用高纯度的清洗用水来确保清洗效果。同时，清洗用水中的各种离子含量也需要严格控制，以避免对玻璃基板的性能产生不良影响。...

超纯水设备具有高效低能、运行成本低，水资源利用率高、体积较小、维修量小，运行的时间长等优点。...

超纯水设备在超纯水生产方面独具优势，相比离子交换、化学反应分离、高温杀菌蒸馏等方式，超纯水设备生产能耗更低、生产速度更快、生产质量更稳定。...

工业超纯水设备可以做到出水水质稳定、生产无污染、能耗低、运行连续稳定、自动化运行能力强，它采用了PLC智能化程序，能灵活进行操作，为超纯水需求企业提供了可靠的技术支持。...

超纯水设备能够提供高质量的超纯水，确保芯片制造过程中的各个环节都能够得到充分的水质保障。...